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檢測對位系統
為了預警Wafer在異常情況下(破片/異物/鍍膜偏移 等)，仍繼續作業流程，導致良率降低、浪費成本，檢測系統自動檢測Wafer是否發生異常，若異常立即停止作業並發警報 , 自動拍照儲存異常位置，以利查明原因達到最有效率的生產流程並降低損失。
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