TRAPPACK

設備概述：
TRAPPACK CONTAINER主要是從裝置中去除排出氣體反應生成物的裝置。
安裝位置：真空側(VACUUM PUMP前)適用CVD.PVD.擴散.蝕刻

TRAPPACK CONTAINER 規格

設備概述：
TRAPPACK CONTAINER主要是從裝置中去除排出氣體反應生成物的裝置。
安裝位置：真空側(VACUUM PUMP前)適用CVD.PVD.擴散.蝕刻

真空計Pressure Gauge

安裝於TRAPPACK CONTAINER桶身，可隨時監測桶內壓力值， 可另作雲端上報

BJ水洗改造模組

Fork模組

電動缸改造